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通过建立电涡流激励下碳纤维织物的并联阻抗模型,研究碳纤维增强复合材料（CFRP）表面不同的几何缺陷对阻抗模型中并联阻抗和谐振频率的影响.通过实验对传感器线圈几何特性进行了优化,提高了检测的准确性.实验结果表明：在并联阻抗模型中线圈探头的阻抗会随着CFRP表面的缺陷面积大小、深度的增减明显变化且呈正比关系变化,应用该方法可有效检测出具有各向异性的CFRP表而后缺陷并对缺陷进行量化.研究成果对合理评估CFRP构建服役可靠性具有参考价值.