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亚智科技（ManzAsiaLtd．）推出了全新的光阻涂布设备ManzSlitcoater，该设备结合了德国ManzAG多年的自动化传输及多轴控制驱动技术，采用气悬浮平台控制技术进行玻璃基板的传输与光阻涂布，可完全免除基板静电及刮伤的问题。另外，ManzSlitCoater以固定龙门进行光阻涂布，与传统SlitCoater相比，精确性与稳定性更高。