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本文介绍国内外金属硅化物肖特基势垒红外焦平面阵列(MSSBIRFPA)的发展现状。概述了PtSi、IrSi、GeSi／SiMSSBIRFPA的研制和开发水平，同时也介绍了MSSBIRFPA技术在军事上的应用情况及发展方向。
国内外MSSBIRFPA的发展现状及其应用
【摘 要】
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本文介绍国内外金属硅化物肖特基势垒红外焦平面阵列(MSSBIRFPA)的发展现状。概述了PtSi、IrSi、GeSi／SiMSSBIRFPA的研制和开发水平，同时也介绍了MSSBIRFPA技术在军事上的应用
【机 构】
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中国电子科技集团公司第44研究所
【出 处】
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集成电路通讯
【发表日期】
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2003年4期
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