【摘 要】
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采用溶胶-凝胶技术和旋涂的方法,在Si（100）衬底上制备了Ni掺杂和（Ni、Li）共掺的3种ZnO薄膜（Ni0.10Zn0.90O、Ni0.10Li0.05Zn0.85O和Ni0.10Li0.10Zn0.80O）。X射线衍射分析表明,所有薄
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采用溶胶-凝胶技术和旋涂的方法,在Si（100）衬底上制备了Ni掺杂和（Ni、Li）共掺的3种ZnO薄膜（Ni0.10Zn0.90O、Ni0.10Li0.05Zn0.85O和Ni0.10Li0.10Zn0.80O）。X射线衍射分析表明,所有薄膜样品均为纤锌矿结构,未发现其他杂相。光致发光研究表明,（Ni、Li）共掺后出现了410nm左右的紫外发光峰,并随Li浓度的增加发光峰变强,该峰与Li杂质能级有关,同时观察到O2-空位引起的610nm和740nm的两个红色发光峰。薄膜中Ni离子为＋2价,取代Zn离子的
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