论文部分内容阅读
利用烧结的CuAlO2靶材运用电子束蒸发法沉积了P型CuAlO2薄膜样品。在空气中1000℃退火之后，薄膜样品出现了（006）定向结晶，且铜铝原子比满足化学计量。CuAlO2薄膜呈现了很好的透明性，500nm厚的薄膜样品在可见光范围透射率超过了80％。利用光谱分析，CuAlO2薄膜的光学禁带约为3．80eV，其平均折射率约为1．54，同其它方法制备的该薄膜的性能相近。薄膜样品室温电导率约为0．08S／cm.