【摘 要】
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分析了扫描隧道显微镜的两种工作模式,即"恒高度模式"和"恒电流模式",并以扫描探针显微镜在实际加工中的成功应用为例,说明原子级加工技术在理论和实践上是可行的。
【机 构】
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厦门大学物理与机电工程学院,哈尔滨工业大学特种加工及机电控制研究所
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分析了扫描隧道显微镜的两种工作模式,即"恒高度模式"和"恒电流模式",并以扫描探针显微镜在实际加工中的成功应用为例,说明原子级加工技术在理论和实践上是可行的。
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