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研究了ＣＯ２，Ａｒ离化团束对不同金属系统对及ＳｉＯ２表面的溅射效应。离化团束的溅射产额比之单体离了束高１００倍以上。气体离化团束的高溅射产量额可能是由于多体碰撞，侧向溅射及高能量密度的照射引起的。
气体离化团束溅射研究
【摘 要】
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研究了ＣＯ２，Ａｒ离化团束对不同金属系统对及ＳｉＯ２表面的溅射效应。离化团束的溅射产额比之单体离了束高１００倍以上。气体离化团束的高溅射产量额可能是由于多体碰撞，侧向溅射及高能量密度的照射
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1997年3期
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