关于微小尘埃影响晶体谐振器电极变色的研究

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本文介绍了石英晶体谐振器电极变色的原理,通过长期监测超净间中微小尘埃粒子数,重点讨论了大气环境中微小尘埃和超净间中微小尘埃粒子数与晶体谐振器电极变色的关系。最后给出了防止石英晶体谐振器电极变色的一些措施。
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