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利用多层薄膜模型对ＰＳＴＭ等间距及等高扫描下的探测场进行了计算，采用两种模式模拟了样品表面起伏引起的倾角假像及用π对称双激光束消除假像的效果。结果表明，用π对称双激光束照射方法可显著减小倾角假像。
PSTM等间距及等高扫描方式下减小假像数值模拟
【摘 要】
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利用多层薄膜模型对ＰＳＴＭ等间距及等高扫描下的探测场进行了计算，采用两种模式模拟了样品表面起伏引起的倾角假像及用π对称双激光束消除假像的效果。结果表明，用π对称双激光束照射
【机 构】
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大连理工大学物理系
【出 处】
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大连理工大学学报
【发表日期】
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2000年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金!资助项目 ( 3 9670 2 0 8)
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