【摘 要】
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基于流体动力学能量输运模型，对沟道杂质浓度不同的深亚微米槽栅和平面PMOSFET中施主型界面态引起的器件特性的退化进行了研究，研究结果表明同样浓度的界面态密度在槽栅器件中
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基于流体动力学能量输运模型，对沟道杂质浓度不同的深亚微米槽栅和平面PMOSFET中施主型界面态引起的器件特性的退化进行了研究，研究结果表明同样浓度的界面态密度在槽栅器件中引起的器件特性的漂移远大于平面器件，且电子施主界面态密度对器件特性的影响远大于空穴界面态，特别是沟道杂质浓度不同，界面态引起的器件特性的退化不同，沟道掺杂浓度提高，同样的界面态密度赞成的漏极特性漂移增大。
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