纳米金刚石薄膜的制备和应用

来源 :金刚石与磨料磨具工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:1igang
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纳米金刚石薄膜的优异性能吸引了众多学者的关注,同时也成为CVD金刚石薄膜研究领域的新热点。文章对国内外的纳米金刚石膜制备的研究状况做了详细介绍,并对纳米金刚石薄膜的应用进行了讨论。
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