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在Fab里，在经过特别设计的短流程测试晶圆上进行的快速电学测试和自动FIB／SEM缺陷分析可以将不可见缺陷探测与分析的时间降低一个数量级，并且对不同的设计参数非常敏感，因而有足够的样本来做重要的统计评估。
在线检测与分析 快速发现不可见的电学缺陷
【摘 要】
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在Fab里，在经过特别设计的短流程测试晶圆上进行的快速电学测试和自动FIB／SEM缺陷分析可以将不可见缺陷探测与分析的时间降低一个数量级，并且对不同的设计参数非常敏感，因而有足
【机 构】
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FEICo.,PDFSolutions
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年11期
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