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高温化学气相沉积TiC／Ti（CxN1-x）／TiN层的组织结构及摩擦磨损性能

来源 :材料保护 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuanli1988

【摘要】

：

Ti（CxN1-x）涂层具有硬度大、强度高、耐磨等性能，而目前采用化学气相沉积法在不锈钢表面制备Ti（CxN1-x）多层涂层的报道较少。用高温化学气相沉积法在316L不锈钢表面分别制备了TiN

【作者】

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王莉张进薛屺范萍

【机构】

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西南石油大学材料科学与工程学院

【出处】

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材料保护

【发表日期】

：

2013年5期

【关键词】

：

TIC Ti(CxN1-x) TIN涂层高温化学气相沉积 316L不锈钢组织结构硬度结合力摩擦磨损 TiC/TiCxN1-x)/TiN coating

【基金项目】

：

四川省教育厅面上项目（12ZB164）,西南石油大学本科生开放实验基金（KSZ1122）资助

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Ti（CxN1-x）涂层具有硬度大、强度高、耐磨等性能，而目前采用化学气相沉积法在不锈钢表面制备Ti（CxN1-x）多层涂层的报道较少。用高温化学气相沉积法在316L不锈钢表面分别制备了TiN单层涂层和TiC／Ti（CxN1-x）／TiN多层涂层，比较分析了2种涂层的显微形貌、相结构、硬度、界面结合力及耐磨性能。结果表明：TiC／Ti（CxN1-x）／TiN多层涂层结构致密，厚约10μm；TiN单层及TiC／Ti（CxN1-x）／TiN多层涂层均提高了316L不锈钢的硬度、耐磨性；与TiN单层涂层相比，T

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