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介绍了四川天一科技股份有限公司自主研发的两段PTSA法制备电子级液体CO2技术,该技术以富CO2的气体作为原料,提纯得到电子级液体CO2,产品符合半导体行业的质量要求。该技术已在工业化装置上成功运行,工程应用的结果表明其具有产品质量可靠、能耗低、投资少、运行费用低的优点。
两段PTSA法制备电子级液体CO2技术及工业化应用
【摘 要】
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介绍了四川天一科技股份有限公司自主研发的两段PTSA法制备电子级液体CO2技术,该技术以富CO2的气体作为原料,提纯得到电子级液体CO2,产品符合半导体行业的质量要求。该技术已
【机 构】
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四川天一科技股份有限公司,吉林佰成气体有限公司
【出 处】
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天然气化工(C1化学与化工)
【发表日期】
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2019年3期
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