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讨论直流电弧等离子体喷射化学气相沉积的金刚石膜其热导率和晶面取向间的关系，并介绍了利用Ｘ射线衍射图谱估算以（１１１）取向为主的三向系金刚石膜热导率的方法。
用金刚石膜的X射线衍射谱估算其热导率
【摘 要】
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讨论直流电弧等离子体喷射化学气相沉积的金刚石膜其热导率和晶面取向间的关系，并介绍了利用Ｘ射线衍射图谱估算以（１１１）取向为主的三向系金刚石膜热导率的方法。
【机 构】
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河北省机电一体化中试基地
【出 处】
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河北省科学院学报
【发表日期】
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1999年2期
【基金项目】
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河北省自然科学基金
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