THE THINNING EFFECT OF ION IMPLANTATION

来源 :东华大学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yaoye_1108

【摘要】

：

In this paper,we shall study in detail the change regularities of surface roughness parameters intwo and three dimensions under some implantation conditions.And

【作者】

：

贝韵芬章宗城王明红李鸿柳襄怀

【机构】

：

ChinaTextileUniversity,ShanghaiInstituteofMetallurgyAcademiaSinica

【出处】

：

东华大学学报：英文版

【发表日期】

：

1991年1期

【关键词】

：

STEEL ION IMPLANTATION surface ROUGHNESS THINNING EFFECT steel ion implantation

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In this paper,we shall study in detail the change regularities of surface roughness parameters intwo and three dimensions under some implantation conditions.And a computer is used to calcu-late and analyze the topographies of the surfaces before and after

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