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本文介绍了低压化学气相合成金刚石的历史、金刚石薄膜的沉积方法、特点及机理，阐述了国内外金刚石薄膜技术的发展动态。
新金刚石科学科术
【摘 要】
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本文介绍了低压化学气相合成金刚石的历史、金刚石薄膜的沉积方法、特点及机理，阐述了国内外金刚石薄膜技术的发展动态。
【机 构】
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西北工业大学材料科学与工程系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1994年2期
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