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伴随着薄膜制备技术的不断创新和进步,半导体集成技术的日新月异,铁电薄膜及铁电集成器件也逐步走向了实用化和产业化,走进了我们每个人的日常生活.
铁电薄膜及其应用技术的最新进展
【摘 要】
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伴随着薄膜制备技术的不断创新和进步,半导体集成技术的日新月异,铁电薄膜及铁电集成器件也逐步走向了实用化和产业化,走进了我们每个人的日常生活.
【机 构】
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山东大学晶体材料国家重点实验室
【出 处】
：
新材料产业
【发表日期】
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2004年9期
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