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气体纯度仍然被认为是一个主要的工艺变量;只是在目前通过一种新的纯化方法的实际采用,使得使用点气体纯化处理得到了广泛认可。
使用点气体纯度保证技术
【摘 要】
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气体纯度仍然被认为是一个主要的工艺变量;只是在目前通过一种新的纯化方法的实际采用,使得使用点气体纯化处理得到了广泛认可。
【机 构】
：
Hercules公司
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1989年4期
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