非致冷红外探测器用氧化钒多晶薄膜的制备

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jgc5961224

【摘要】

：

采用离子束溅射镀膜和氧化工艺在Si(110)和石英衬底上制备了用于非致冷红外探测器阵列热敏材料的混合相氧化钒多晶薄膜.扫描电子显微镜(SEM)照片显示:薄膜表面呈针状晶粒状,

【作者】

：

王宏臣易新建陈四海黄光李雄伟

【机构】

：

华中科技大学光电子工程系,华中科技大学光电子工程系,中国科技大学图象识别和人工智能教育部重点实验室,华中科技大学光电子工程系

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

氧化钒薄膜离子束溅射电阻温度系数非致冷红外探测器

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采用离子束溅射镀膜和氧化工艺在Si(110)和石英衬底上制备了用于非致冷红外探测器阵列热敏材料的混合相氧化钒多晶薄膜.扫描电子显微镜(SEM)照片显示:薄膜表面呈针状晶粒状,而且薄膜表面光滑、致密,均匀性好.测试结果表明:氧化钒薄膜的方块电阻和电阻温度系数(TCR)在20℃分别为50KΩ和-0.021K-1.

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