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介绍了几种沉积氮化钛涂层的技术。利用辅助磁场消除多弧离子镀沉积氮化钛膜层中的熔滴，细化膜层组织；安装平面大弧源和柱状弧源的多弧离子镀膜机，使多弧离子镀膜机结构简化，操作简单，采用非平衡磁控溅射源扩展了镀膜室内等离子体范围，有利于磁控溅射沉积氮化钛超硬涂层。
几种沉积氮化钛涂层的新技术
【摘 要】
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介绍了几种沉积氮化钛涂层的技术。利用辅助磁场消除多弧离子镀沉积氮化钛膜层中的熔滴，细化膜层组织；安装平面大弧源和柱状弧源的多弧离子镀膜机，使多弧离子镀膜机结构简化，操作
【机 构】
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深圳豪威多弧离子镀科技有限公司
【出 处】
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金属热处理
【发表日期】
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2000年1期
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