非平衡磁控溅射源相关硕士博士期刊学术论文

介绍了几种沉积氮化钛涂层的技术。利用辅助磁场消除多弧离子镀沉积氮化钛膜层中的熔滴，细化膜层组织；安装平面大弧源和柱状弧源的多......