【摘 要】
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本文主要介绍微细加工技术的内容、特点,在传感器制造中应用的可能性及发展前景。现代传感器的发展趋势,主要是高灵敏、高可靠、微型化、集成化以及智能化。为此在
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本文主要介绍微细加工技术的内容、特点,在传感器制造中应用的可能性及发展前景。现代传感器的发展趋势,主要是高灵敏、高可靠、微型化、集成化以及智能化。为此在
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