【摘 要】
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针对现有的微波功率测量都基于热电偶和二极管等终端器件,功率信号在被检测后无法利用的问题,设计了一个基于微机电( MEMS)射频(RF)并联开关在Ku波段(12.4～18GHz)应用的微波功
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室;
【基金项目】
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Supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No .60676043);the NationalHigh-Tech Research and Development Programof China (863 Program)(Grant No.2007AA04Z328)
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针对现有的微波功率测量都基于热电偶和二极管等终端器件,功率信号在被检测后无法利用的问题,设计了一个基于微机电( MEMS)射频(RF)并联开关在Ku波段(12.4～18GHz)应用的微波功率耦合器,包括等效电路、共面波导(CPW)匹配的设计和结构仿真。该耦合器是MEMS微波功率传感器的核心,它利用MEMS膜桥耦合CPW上的微波功率信号,大部分功率信号被检测后都能传至下级电路做进一步处理。为了减小反射损耗和获得宽频带响应,提出了两种优化方法,即凹槽调谐结构设计和补偿电容设计,经过优化设计后的Ku波段MEMS微波功率耦合器的回波损耗(S11)和插入损耗(S21)在中心频率15.2GHz处分别达到了-42.90 dB和-0.15 dB,显示出耦合器的高隔离度和低损耗。同时在Ku波段,上述参数同中心频率点处的偏差分别为±6.41dB和±0.04dB,显示出其宽带特性。
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