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<正> 我们用“三次扩散-一次氧化-镀镍-锡锅焊接”代替“二次扩散-一次氧化-蒸铝-烧结”工艺生产200A 平板型可控硅,可以省却使用真空烧结炉、蒸发台、超声波点焊机等昂贵的设备,且其工艺简单,生产的器件动态特性好过载能力强,平均压降为0.6～0.7V。
“三次扩散—一次氧化—镀镍—锡锅焊接”生产200A平板型对控硅
【摘 要】
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<正> 我们用“三次扩散-一次氧化-镀镍-锡锅焊接”代替“二次扩散-一次氧化-蒸铝-烧结”工艺生产200A 平板型可控硅,可以省却使用真空烧结炉、蒸发台、超声波点焊机等昂贵的
【机 构】
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武汉半导体器件三厂430021
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1991年6期
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