【摘 要】
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针对现有微电容超声传感器（CMUT）寄生电容大的问题，采用绝缘技术将振动薄膜与上电极金属完全隔离的方法，避免了掺杂效应的发生，从而减小了寄生电容。文中以电容变化率为主线，分别对
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学测试技术重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61127008)
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针对现有微电容超声传感器（CMUT）寄生电容大的问题，采用绝缘技术将振动薄膜与上电极金属完全隔离的方法，避免了掺杂效应的发生，从而减小了寄生电容。文中以电容变化率为主线，分别对微传感器和跨阻检测电路的电容变化率进行了计算和仿真，建立了传感器与电路检测的通道，并通过水下测试系统的搭建，对其进行实验验证。测试结果表明，实际输出电压的值为0.8V，与理论计算值0.61V相近，从而验证了CMUT的可用性及其测试系统的可行性。
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