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近年来，TiO2功能薄膜以其卓越的性能，尤其是优异的光催化性能，引起了国内外广泛关注。针对纳米TiO2功能薄膜气相沉积制备方法中影响TiO2薄膜结构的关键因素（如基体温度、退火温度、基片种类、氧分压、掺杂等）进行了系统总结，并介绍了其研究进展。
影响二氧化钛薄膜晶体结构的因素及研究进展
【摘 要】
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近年来，TiO2功能薄膜以其卓越的性能，尤其是优异的光催化性能，引起了国内外广泛关注。针对纳米TiO2功能薄膜气相沉积制备方法中影响TiO2薄膜结构的关键因素（如基体温度、退火温度
【机 构】
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广东工业大学分析测试中心,广东工业大学材料与能源学院,华南师范大学物理与电信工程学院,华南理工大学分析测试中心
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2005年F05期
【基金项目】
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广东省教育厅自然科学基金项目（200045）
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