【摘 要】
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本文主要分析了气体低温等离子体技术中功率、压强和流量控制所存在的一些问题,给出了压强、流量和抽速三者之间的理论关系式,并对与之有关的问题进行了有益的讨论。
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本文主要分析了气体低温等离子体技术中功率、压强和流量控制所存在的一些问题,给出了压强、流量和抽速三者之间的理论关系式,并对与之有关的问题进行了有益的讨论。
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