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基于压痕断裂力学，在工件横向施振超声振动平面磨削单颗磨粒受力分析基础上。建立了材料去除率综合数学模型；并就超声振动和普通磨削进行了对比试验研究。研究结果表明：超声振动磨削陶瓷材料去除率与被加工材料的种类、磨削深度、砂轮磨粒粒度、超声振动的振幅以及磨削条件有着密切关系。同样磨削条件下，超声振动磨削陶瓷材料去除率是普通磨削的1．7～3．2倍，与理论模型相符合。试验结果表明：超声振动磨削可以获得良好的加工表面，工件横向施振超声振动磨削是一种精密、高效加工新工艺。