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简单阐述了ITO镀膜工艺流程 ,并重点分析了真空镀膜设备结构设计特点。
ITO真空镀膜设备结构设计分析
【摘 要】
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简单阐述了ITO镀膜工艺流程 ,并重点分析了真空镀膜设备结构设计特点。
【机 构】
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华东冶金学院
【出 处】
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机械设计与制造
【发表日期】
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2000年03期
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