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铒,氧共注a—Si:H和a—SiCx:H的1.54μm光致发光
铒,氧共注a—Si:H和a—SiCx:H的1.54μm光致发光
来源 :光电子.激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:surtacohen1
【摘 要】
:
在a-Si:H和a-SiCx:H中共注稀土铒和氧。300℃和400℃热退火后,测得了来自发光中心Er3+内层4f电子跃迁的1.54μm光致发光。400℃是较好的退火温度。随着碳含量的增加,发光强度逐渐减弱,这可能是由于碳的引入减弱了间
【作 者】
:
薛俊明
【机 构】
:
南开大学光电子所
【出 处】
:
光电子.激光
【发表日期】
:
1998年4期
【关键词】
:
铒
氧
离子注入
光致发光
aSi:HandaSiCx:HErbiumOxygenimplantation
【基金项目】
:
中国科学院半导体研究所材料科学开放实验室和国家教委光学信息技术科学开放实验室的资助
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在a-Si:H和a-SiCx:H中共注稀土铒和氧。300℃和400℃热退火后,测得了来自发光中心Er3+内层4f电子跃迁的1.54μm光致发光。400℃是较好的退火温度。随着碳含量的增加,发光强度逐渐减弱,这可能是由于碳的引入减弱了间隙氧退火时的迁移能力所致。
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