【摘 要】
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为研究单基极薄基区晶体管的特性，设计了一种单侧基极引出结构薄基区的晶体管，在p型SOI衬底上全离子注入实现了基区宽度为80nm的npn纵向结构，基区的平均浓度为10^18cm^-3．经过版
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为研究单基极薄基区晶体管的特性，设计了一种单侧基极引出结构薄基区的晶体管，在p型SOI衬底上全离子注入实现了基区宽度为80nm的npn纵向结构，基区的平均浓度为10^18cm^-3．经过版图设计和工艺流片，在2μm实验工艺线上研制了这种器件．基极采用电压输入，Vbc在1．1V附近，跨导和电流增益都达到峰值，小信号电流增益βac(△Ic／△Ib)=2．7，小信号跨导gmac(△Ic／△Vbe)=0．45ms，且gmac／gm(Ic／Vbe)比βac/β(Ic／Ib)大得多，跨导比电流增益更能准确地描述器件特
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身后已经过去了很多岁月,前面还有很多岁月要走。走的累了、困了、乏了,歇下脚来松口气、喝口水的时候,行囊中的细软总会成为我们一种特别的惦记。行囊里的故事是我们过往的