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本文提出并研究了一种新型台阶阵列阴极真空微电子压力传感器。与平面阵列阴极真空微电子压力传感器相比，该传感器在扩展量程和提高灵敏度方面较大的潜力，作者展示了计算机模拟计算结果和部分实验结果。
台阶阵列阴极真空微电子压力传感器研究
【摘 要】
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本文提出并研究了一种新型台阶阵列阴极真空微电子压力传感器。与平面阵列阴极真空微电子压力传感器相比，该传感器在扩展量程和提高灵敏度方面较大的潜力，作者展示了计算机模拟
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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1996年3期
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