论文部分内容阅读
计量型紫外光学显微镜采用248nm深紫外光源和高数值孔径物镜系统，工作距离和景深均很小，为实现清晰的成像，需要进行自动聚焦。因此研究了一种焦点及倾角测量算法，采用基于图像处理的自动聚焦方法，选择Tenengrad函数作为图像清晰度判据，进行清晰度评价。针对在扫描测量时标准样板倾斜与镜片可能会出现相撞的问题，提出了样板倾角测量方法来判断样板的倾斜方向和角度，从而确定物镜执行器的移动方向，实现物镜扫描成像过程中的动态对焦。