【摘 要】
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中国科学院光电技术研究所研制成功的激光定位工件台系统,已于1982年10月从四川成都运抵中国科学院北京电工所与电子束曝光机其他部分相配。经光电所、电工所同志的共同努力
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中国科学院光电技术研究所研制成功的激光定位工件台系统,已于1982年10月从四川成都运抵中国科学院北京电工所与电子束曝光机其他部分相配。经光电所、电工所同志的共同努力,仅仅用了一个月时间即安装、调试、检测完毕。检测结果略优于鉴定
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