【摘 要】
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由于半导体产业对产品良率及产品可靠度的要求逐日提升,不但产品的检验已经达到"逐件检验"的要求,而且AOI需要检测的项目也逐渐增加。本文主要是为提升IC生产的效率与品质,将
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由于半导体产业对产品良率及产品可靠度的要求逐日提升,不但产品的检验已经达到"逐件检验"的要求,而且AOI需要检测的项目也逐渐增加。本文主要是为提升IC生产的效率与品质,将提出一套以机器视觉为基础的IC瑕疵检测系统,用以检测IC印码及引脚,通过镜面映射IC引脚高度的原理设计出一个取像平台,使用单一摄像机器和一张影像分析的方式同时检测了IC印码与IC引脚,对速度和可靠度的要求也在不断提升。
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