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采用自行设计的导模法蓝宝石长晶装备,通过优化模具设计和长晶工艺,成功生长了内/外径分别为31/58mm和50/65mm,长度超过300mm的大尺寸厚壁蓝宝石单晶圆管,无开裂多晶,无肉眼可见气泡,晶体质量优良。
导模法(EFG)生长大尺寸厚壁管状蓝宝石单晶
【摘 要】
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采用自行设计的导模法蓝宝石长晶装备,通过优化模具设计和长晶工艺,成功生长了内/外径分别为31/58mm和50/65mm,长度超过300mm的大尺寸厚壁蓝宝石单晶圆管,无开裂多晶,无肉眼
【机 构】
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同济大学物理科学与工程学院,南京同溧晶体材料研究院
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2019年7期
【基金项目】
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上海蓝宝石单晶工程技术研究中心(14DZ2252500);国家重点研发计划项目(2016YFB1102202)
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