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探针台是半导体芯片测试的高精密仪器,其中打点器是探针台的主要配件,负责对分选芯粒进行打点标记。文中介绍了打点器的种类和打点方式,并且结合客户在使用过程的反馈意见,总结了打点器存在的一些问题,设计研究了一种新的打点器结构,并且对设计后的结构进行了实际测试,打点效果得到了明显改善。
高精密芯片测试探针台打点器的设计与研究
【摘 要】
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探针台是半导体芯片测试的高精密仪器,其中打点器是探针台的主要配件,负责对分选芯粒进行打点标记。文中介绍了打点器的种类和打点方式,并且结合客户在使用过程的反馈意见,总
【机 构】
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秦皇岛视听机械研究所有限公司
【出 处】
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机电产品开发与创新
【发表日期】
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2020年4期
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