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研究了酸性蚀刻废液回收高纯电镀级氧化铜粉的方法,通过XRD和XPS等测试分析发现,有机物是影响光亮剂消耗和EVF电镀填孔凹陷大的原因,并对有机物进行了有效去除。最终回收所得氧化铜粉的质量分数高达99.0%,杂质含量低,活性高,完全符合电镀级氧化铜粉的要求。
酸性蚀刻废液中回收高纯氧化铜
【摘 要】
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研究了酸性蚀刻废液回收高纯电镀级氧化铜粉的方法,通过XRD和XPS等测试分析发现,有机物是影响光亮剂消耗和EVF电镀填孔凹陷大的原因,并对有机物进行了有效去除。最终回收所得
【机 构】
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上海美维科技有限公司研发部
【出 处】
：
电子工艺技术
【发表日期】
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2018年6期
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