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根据冲击波物理实验的需要,利用改进的阳极化工艺,在铝杆半球形的表面均匀地生成厚约5.5 μm的Al2O3电介质膜,其直流绝缘强度可达250 V,1 min,低冲击压力作用下的电脉冲前沿约50 ns.满足了冲击压缩实验对传感器高精度、高可靠性、高度可重复和大批量的要求.
新型冲击速度传感器
【摘 要】
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根据冲击波物理实验的需要,利用改进的阳极化工艺,在铝杆半球形的表面均匀地生成厚约5.5 μm的Al2O3电介质膜,其直流绝缘强度可达250 V,1 min,低冲击压力作用下的电脉冲前沿
【机 构】
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四川大学,四川大学
【出 处】
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四川大学学报(工程科学版)
【发表日期】
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2004年5期
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