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开发了一种大量程、高分辨率、非接触式与接触式测量两用的新型表面形貌测量仪器。仪器本体为非接触测量轮廓仪，通过插入接触式测头实现接触测量。非接触式测头采用傅科法自动聚焦原理，接触式测量采用微恒力电感测量原理，它们共用一个音圈电机，各自跟踪电气零位，实现大量程、高分辨率的位移测量。文中还介绍了仪器采用的共运动基面二维工作台。