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GaAs高压单晶炉框架式籽晶杆传动头的设计
GaAs高压单晶炉框架式籽晶杆传动头的设计
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuliaocanglang
【摘 要】
:
GaAs高压单晶炉是生产GaAs单晶的设备 ;它主要包括机架 (底座 )、籽晶杆传动头、坩埚杆传动头、炉膛及电气控制部分。重点对籽晶杆传动头的框架结构设计和参数的确定进行了讨
【作 者】
:
周湘杰
文孟莉
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2000年1期
【关键词】
:
GaAs
高压单晶炉
结构
参数
籽晶杆
传动头
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GaAs高压单晶炉是生产GaAs单晶的设备 ;它主要包括机架 (底座 )、籽晶杆传动头、坩埚杆传动头、炉膛及电气控制部分。重点对籽晶杆传动头的框架结构设计和参数的确定进行了讨论。
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