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采用Ti/W复合靶用多弧离子镀技术沉积了（Ti,W)xN合金涂层，并对该涂层的组织与性能进行了研究。结果表明，涂层组织致密，孔隙率极低，主要结构为（Ti,W)2n,并具有较高的显微硬度和抗氧化性。在沉积过程中存在着多元合金涂层与复合靶的成分离析现象，这与靶材的结构有关。
多弧离子镀（Ti,W）xN合涂层组织与性能
【摘 要】
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采用Ti/W复合靶用多弧离子镀技术沉积了（Ti,W)xN合金涂层，并对该涂层的组织与性能进行了研究。结果表明，涂层组织致密，孔隙率极低，主要结构为（Ti,W)2n,并具有较高的显微硬度和抗氧
【机 构】
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广东工业大学材料能源学院
【出 处】
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材料工程
【发表日期】
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2000年9期
【基金项目】
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广东省高教厅基金,,广东工业大学重点学科资助
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