【摘 要】
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铝栅自对准电路具有集成度高和性能价格比高等优点。本文从离子注入与合金(退火)两方面着手,研究铝栅自对准工艺。成功地研制出可与国外样品互换的铝栅自对准电路。
Aluminu
【机 构】
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华晶电子集团公司中央研究所一室,华晶电子集团公司中央研究所一室,华晶电子集团公司中央研究所一室,华晶电子集团公司中央研究所一室,华晶电子集团公司中央研究所一室 江苏无锡 214035,江苏无锡 214
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铝栅自对准电路具有集成度高和性能价格比高等优点。本文从离子注入与合金(退火)两方面着手,研究铝栅自对准工艺。成功地研制出可与国外样品互换的铝栅自对准电路。
Aluminum gate self-aligning circuit has the advantages of high integration and high performance-price ratio. In this paper, ion implantation and alloy (annealing) from two aspects, research aluminum gate self-aligning process. Successfully developed with foreign samples interchangeable aluminum gate self-aligning circuit.
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