【摘 要】
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介绍了一种新型的基于硅IC模拟电路工艺的射频集成薄膜电感.描述了集成薄膜电感的工作原理.采用一个紧凑集总电路模型来等效模拟集成化电感的电路效应.结合硅基模拟IC工艺技
【基金项目】
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浙江省自然科学基金项目(Z104621);模拟集成电路国家重点实验室基金项目
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介绍了一种新型的基于硅IC模拟电路工艺的射频集成薄膜电感.描述了集成薄膜电感的工作原理.采用一个紧凑集总电路模型来等效模拟集成化电感的电路效应.结合硅基模拟IC工艺技术,采用磁性材料薄膜层的设计,给出薄膜电感工艺流程,制备了薄膜电感样品.在1MHz～1GHz的频率范围内对薄膜电感样品进行了阻抗特性和Q值的测试.样品串联电感值为5.52nH,在600～800MHz时,获得最大为1.4的Q值.
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