Nd_2O_3-SnO_2 薄膜气敏元件的研制

来源 :南昌大学学报(工科版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:sxdinfo958
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研究了Nd2O3-SnO2复合薄膜气敏元件的制作工艺和敏感性能测量结果表明,这种元件对乙炔气体敏感,且具有选择性好、灵敏度高等优点 The fabrication process and sensitivity of Nd2O3-SnO2 composite thin film gas sensor were studied. The measurement results show that the device is sensitive to acetylene gas and has the advantages of good selectivity and high sensitivity.
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