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功率器件有JTE结构的电场的数值分析与模拟
功率器件有JTE结构的电场的数值分析与模拟
来源 :电子科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dvcsvf
【摘 要】
:
本文用 damped-Newton(DN)法求解由一般非线性方程获得的Poisson 方程。研究了阻尼因子λ对其收敛性和求解效率的影响。利用此方法计算了横向表面掺杂为 Gauss 分布的器件的
【作 者】
:
李肇基
陈星弼
【机 构】
:
微电子研究所,微电子研究所
【出 处】
:
电子科技大学学报
【发表日期】
:
1989年4期
【关键词】
:
半导体
功率器件
电场
数值分析
numerical analysispower semiconductor deviceelectric field prof
【基金项目】
:
获得国家“七五”科技攻关项目的支持
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本文用 damped-Newton(DN)法求解由一般非线性方程获得的Poisson 方程。研究了阻尼因子λ对其收敛性和求解效率的影响。利用此方法计算了横向表面掺杂为 Gauss 分布的器件的归一化电场与掺杂浓度和掺杂层宽度的关系。
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