【摘 要】
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采用完全自主的薄膜体声波谐振器（FBAR）滤波器设计、工艺技术，制备了S波段FBAR滤波器芯片。该FBAR滤波器的电路结构为梯形结构，采用一维Mason模型进行了仿真、优化。在工艺上采用
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采用完全自主的薄膜体声波谐振器（FBAR）滤波器设计、工艺技术，制备了S波段FBAR滤波器芯片。该FBAR滤波器的电路结构为梯形结构，采用一维Mason模型进行了仿真、优化。在工艺上采用空气隙型结构，突破了高c轴取向A1N压电薄膜淀积、精密空气腔制作等关键工艺技术，制备的4节FBAR滤波器中心频率为2340MHz，3dB带宽为25MHz，中心插损为3．8dB，矩形系数达2．24：1，输入、输出阻抗均为50Ω，芯片体积仅为1mm×1mm×0．3mm，该性能与同频率、同带宽的介质滤波器性能
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