AlN压电薄膜相关论文
汽车、航空或者石油勘探等行业对压力传感器的需求量很大,这类行业涉及的很多设备也都工作在温度较高的环境中,这就要求压力传感器......
水听器作为声呐系统的核心元器件,广泛应用于水声探测、水下通讯、海啸预警以及潜艇探测等军事领域。针对传统水听器体积大、成本......
耐高温高压压力传感器在航空、石油以及汽车领域的应用越来越广泛,需求也越来越大,但我国对耐高温高压压力传感器的研究相对落后,......
随着5G移动通信技术的发展,无线通信向更高频段扩展,传统的射频滤波器已无法满足射频前端对小型化、高频宽带化、高功率化和高线性......
科学技术的快速发展对设备性能的要求越来越高,极端工况变得越来越普遍。设备中润滑油膜在这种极端工况下厚度减小,油膜过薄会导致......
提出了基于AlN压电薄膜体声波谐振器(FBAR)的L波段MEMS滤波器,并进行了研究.采用Mason等效模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟,......
本文综述了用于高温环境声表面波传感器的研究进展,针对其目前存在的主要问题,指出了发现新型耐高温敏感材料和敏感机理,不断优化......
随着科技的发展，惯性传感器在工业应用中越来越得到广泛应用，比如应用于汽车防撞气囊的加速度计和导航系统的陀螺仪。微电子和微机械......
采用完全自主的薄膜体声波谐振器（FBAR）滤波器设计、工艺技术，制备了S波段FBAR滤波器芯片。该FBAR滤波器的电路结构为梯形结构，采用一......
为了减少机械设备关键零部件(机械密封、轴承等)因接触摩擦而产生的损耗,通常在相对运动的机械零部件表面之间添加润滑油,润滑油可......
微型加速度传感器在人类生产生活的各个领域中具有广泛的应用前景。以压电薄膜加速度传感器为代表的压电加速度传感器具有微型化,......
报道了一种空气隙型S波段薄膜体声波谐振器,该谐振器采用一维Mason模型进行仿真,电极材料选用Mo,压电薄膜材料选用AlN,通过对AlN薄......
采用反应磁控溅射法在Si(111)衬底上沉积了AlN薄膜.XRD分析表明,在5种温度下,AlN均以(100)面取向,衬底温度的提高有利于薄膜结晶性......
AlN压电薄膜材料具有许多优异的物理化学性质,本文对该薄膜材料的发展,结构特征,制备方法进行了综述,并对其应用前景进行了展望.......
高次谐波体声波谐振器(High Overtone Bulk Acoustic Resonator,HBAR)具有多频谐振特点,可以用于可跳频的频率综合器,其高Q值可以......
