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综述了近几年来人们对多孔硅材料的研究及其其于硅基光电器件制造方面的进展。 ‘
多孔硅（PS）及其光电器件研究进展
【摘 要】
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综述了近几年来人们对多孔硅材料的研究及其其于硅基光电器件制造方面的进展。 ‘
【机 构】
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河北大学电子与信息工程系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1999年3期
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